隨著機(jī)械加工技術(shù)的迅速發(fā)展，零件加工精度也從宏觀上的判斷走向了微觀的方向，使原本難以實(shí)現(xiàn)的加工需求也隨之發(fā)生了變化。因此精密加工是相對(duì)的，兩者的邊界并不是一成不變的。本文以超精密零件機(jī)加工為切入點(diǎn)，對(duì)其精度的影響因素進(jìn)行了論述和分析，以期對(duì)有關(guān)機(jī)床的工作有所幫助。

　　20世紀(jì)六十年代，隨著核電、集成電路、航空航天等行業(yè)的迅速發(fā)展，對(duì)機(jī)床的精度要求也越來越高。與精密加工相比，超精密制造技術(shù)在加工精度上有了質(zhì)的飛躍。80年代，其尺寸加工精度可達(dá)1x10~8 m，表面處理精度可達(dá)1x10~9 m。當(dāng)然，超精密的工藝要求非常苛刻，其工藝品質(zhì)受到諸多因素的制約。例如，工件的材料必須均勻、致密、精細(xì)，而且必須預(yù)先對(duì)零件的殘余應(yīng)力進(jìn)行消除，以確保工件的尺寸，防止機(jī)加工后的變形；對(duì)于機(jī)床來說，導(dǎo)軌的直線和旋轉(zhuǎn)的精度必須達(dá)到0.1微米，精密的進(jìn)給和定位精度必須達(dá)到0.01微米；在加工系統(tǒng)上，還必須保證系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差小于0.1微米。

　　對(duì)工作環(huán)境的影響分析，一個(gè)好的工作環(huán)境是保證機(jī)床加工質(zhì)量的關(guān)鍵因素，它直接關(guān)系到精密加工和超精密零件的加工質(zhì)量。在超精密工件的實(shí)際加工中，空氣中的粉塵比磨料的微粒要大，會(huì)對(duì)機(jī)加工表面產(chǎn)生損害，從而影響到磨削的效果，所以在超精密加工之前，必須保證空氣的清潔。由于微粒的粒徑大于0.5微米，對(duì)超精密加工的質(zhì)量產(chǎn)生了很大的影響，因此，1ft3的顆粒中包含的顆粒直徑大于0.5微米，通常被用來確定空氣的潔凈級(jí)別。                        采用超精密加工工藝，其凈化級(jí)別為100-10000。過濾是最常用的凈化方法，人們把它叫做凈化室、超凈室。一般來說，凈化分為兩種，一種是整體的，一種是局部的。

　　局部?jī)艋且环N經(jīng)濟(jì)的方法，它是在局部加工區(qū)，如工作臺(tái)等處進(jìn)行正壓清潔，以阻止外界空氣進(jìn)入，從而實(shí)現(xiàn)清潔的目的。工作人員的頭發(fā)、工作服等都會(huì)攜帶灰塵，因此，在進(jìn)入潔凈室前，必須在潔凈室內(nèi)更換特殊的衣服，并進(jìn)行風(fēng)吹，以防止灰塵污染。